Weltrekord in der Spektroskopie unterboten
ELIAS III ist neuester Coup der LTB Lasertechnik Berlin
Bei Messungen mit der neuesten höchstauflösenden Spektrometergeneration der ELIAS-Baureihe (Emission Line Analyzing Spectrometer) konnte die LTB Lasertechnik Berlin GmbH ihren erst kürzlich aufgestellten Weltrekord erneut unterbieten. Das Adlershofer Unternehmen trug damit den steigenden Anforderungen an die Messtechnik in der Lithographiebranche Rechnung und präsentiert nun mit ELIAS III das jüngste Modell ihrer Reihe höchstauflösender Spektrometer. Gemessen wurde eine Linienbreite von 20 Femtometern bei einer Wellenlänge von 193 Nanometern. Das entspricht einer spektralen Auflösung von 10 Millionen. Der eigene Rekord lag bislang bei 60 Femtometern.
Das Haupteinsatzgebiet der ELIAS-Spekrometer ist die spektrale Charakterisierung von Excimerlasern in der Mikrolithographie. Sie können indirekt die Qualität der mittels der optischen Laserlithographie produzierten Halbleiterschaltkreise bestimmen. Die Qualität des Belichtungsprozesses wird durch die spektralen Eigenschaften der verwendeten Laser sowie der Linsenoptiken bestimmt. Die Verbesserung der spektralen Bandbreite des Lasers ermöglicht die Verringerung der Strukturgrößen. Mithilfe von ELIAS ist es den Herstellern von Lithographielasern gelungen, ihre Lichtquellen dahingehend weiterzuentwickeln, dass heute Strukturbreiten von 90 nm erreicht werden können. Weitere Anwendungen der ELIAS-Baureihe liegen in der Atomabsorptionsspektroskopie und der Laserdiodenentwicklung.
Bereits mehr als 75 Systeme seiner ELIAS-Baureihe hat die LTB Lasertechnik Berlin GmbH, führender Entwickler und Anbieter von Kurzpulslasern, laserbasierten Messsystemen und Messinstrumenten für Laser, in den letzten 3 Jahren weltweit ausgeliefert. ELIAS ist das einzige kommerziell erhältliche Spektrometer mit einer solch extrem hohen Auflösung.
Kontakt:
Schirin Börnert
LTB Lasertechnik Berlin GmbH
Rudower Chaussee 29
12489 Berlin
Telefon: (030) 63 92 61 97
Telefax: (030) 63 92 61 99
E-Mail: info(at)ltb-berlin.de
Peggy Winter
Bereich Kommunikation
WISTA-MANAGEMENT GMBH
Rudower Chaussee 17
12489 Berlin
Telefon: (030) 63 92 22 13
Telefax: (030) 63 92 22 36
E-Mail: winter(at)wista.de