Hightech für das TU-Nanophotonikzentrum
Der Berlin Adlershofer Spezialgerätebauer SENTECH geht mit neuentwickelten Plasma-Ätzanlagen auf Wachstumskurs
Die SENTECH Instruments GmbH aus Berlin Adlershof hat für das kurz vor der Eröffnung stehende Nanophotonikzentrum der Technischen Universität der Hauptstadt jetzt wichtige Hightech-Ausrüstungen geliefert. Mit ihrer Hilfe sollen aktuelle Forschungs- und Entwicklungsaufgaben an der TU realisiert werden. Zu dieser Technik gehört neben einem neuen Hochleistungs-Ellipsometer - ein Dünnschicht-Messgerät, das im Bereich millionster Teile eines Millimeters exakt arbeitet - und einer konventionellen Plasma-Ätzanlage ein neues Ätz- und Beschichtungssystem zur Herstellung von Halbleiterlasern für die Telekommunikation. Solche Laser werden als Datensender in Verbindung mit modernen Lichtwellenleitern eingesetzt.
Erst jüngst hatte SENTECH mit der Serienfertigung der innerhalb eines Jahres neuentwickelten Ätzanlagen begonnen. Sie dienen zur Fertigung mikrooptischer und mikroelektronischer Bauelemente und erreichen die dreifache Produktivität ihres Vorgängertyps. In Deutschland, wo es nach Aussage des Unternehmens derzeit keinen Wettbewerber für solche Technik gibt, wollen die Adlershofer Spezialgerätebauer in diesem Jahr ihren Marktanteil in dieser Geräteklasse von 20 auf deutlich über 30 Prozent steigern. International soll er von knapp zehn auf 15 Prozent wachsen.
Herzstück der für die industrielle Kleinserienfertigung sowie für Forschungseinrichtungen entwickelten Anlage ist ein Ätz-Reaktor, in dem Strukturen auf Galliumarsenid-Wafern (Halbleiter-Scheiben) und optischen Materialien wie Glas und Quarz mit Hilfe von Ätz-Gasen und Fotolackmasken erzeugt werden. Dafür werden unter sehr geringem Druck und hochfrequenter Spannung die Gasatome und -moleküle so angeregt, dass ein besonders konzentriertes Plasma entsteht. Diese Teilchendichte ermöglicht eine hohe Produktivität, das Herausarbeiten sehr kleiner und tiefer Strukturen und eine schädigungsarme Bearbeitung.
Während das konventionelle Plasma-Ätzen eine bereits seit längerem gebräuchliche Methode zur Produktion mikroelektronischer Bauteile sei, setze sich das noch junge Verfahren mit dem hochkonzentrierten Plasma mehr und mehr durch, erläuterte SENTECH-Geschäftsführer Dr. Albrecht Krüger. Mit dem Vorgängertyp und der neuen Anlage, die derzeit vorrangig in Deutschland, nach Westeuropa und Japan sowie in die USA verkauft werden, könnten nicht nur Halbleiterstrukturen für Chips mit besonders schneller Signalverarbeitung erzeugt, sondern auch optische Bauteile wie Linsen und Lichtwellenleiter in der Größenordnung tausendster Teile eines Millimeters hergestellt werden.
Das Charlottenburger Nanophotonikzentrum werde die Hightech aus Adlershof zur Entwicklung entsprechender neuer Bauelemente und Verfahren nutzen, sagte dessen Leiter, Prof. Dr. Dieter Bimberg. So für neuartige Laser aus Nanomaterialien, für optische Verstärker in urbanen Lichtwellenleiter-Netzen und für das verschlüsselte und abhörsichere Übertragen von Daten mit Hilfe spezieller Lichtquellen. „Uns geht es insbesondere auch um die Schaffung neuer Prozesstechnologien, die wir Firmenausgründungen in unserem Umfeld zur Verfügung stellen wollen“, betonte er. Der SENTECH-Auftrag für das Nanophotonikzentrum, eine Fünfmillionen-Investition, umfasst allein rund eine Million Euro. Im Frühjahr waren die Geräte im Speziallabor der Firma gemeinsam getestet worden.
Im Juni hat das Unternehmen laut Krüger seine moderne Ätzanlagen-Technik erstmals auch nach Indien an ein Forschungsinstitut geliefert. Zudem ging jetzt eine solche Order vom bei Paris ansässigen französischen Institut für Nanostrukturphotonik in Adlershof ein. Wie der Geschäftsführer betonte, konnte sich SENTECH in allen diesen Fällen bei Ausschreibungen gegenüber Wettbewerbern aus Europa und Übersee durchsetzen.
„Der Absatz von Plasma-Ätzanlagen ist erfreulich gestiegen, der Auftragsvorlauf ist nunmehr gut“, sagte Krüger. Für 2004 rechnet er mit einem rund zehnprozentigen Umsatzwachstum der Firma (2003: rund fünf Millionen Euro). „Inzwischen arbeiten wir europaweit in der Spitzengruppe der Produzenten.“ SENTECH entwickelt auch diese Anlage derzeit weiter: Ende des Jahres soll ein verbesserter Serientyp für den Einsatz größerer Wafer bei nochmals verdoppelter Produktivität fertig sein.
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