09. Dezember 2003

Fit für den Weltmarkt

Der Berliner Gerätebauer SENTECH will mit seinem neuesten High-Tech-Produkt einen 20-Prozent-Anteil erringen

SENDURO^® heißt eine speziell für Forschungslabore, Chip-Hersteller und Anwender in der Oberflächenveredlung entwickelte, neue Generation hochleistungsfähiger Dünnschicht-Messgeräte der Berliner SENTECH Instruments GmbH. Nach Aussage des Adlershofer High-Tech-Unternehmens handelt es sich um eine Weltneuheit, mit der die exportorientierte Firma international einen Marktanteil von künftig bis zu 20 Prozent in dieser Geräteklasse anstrebt.

Mit dem Messgerät, einem so genannten spektroskopischen Ellipsometer, kann anhand optischer Eigenschaften die Qualität von zum Beispiel auf Halbleiter-Wafern oder Glasplatten aufgetragenen Schichten - u. a. Siliziumoxid oder -nitrid - bestimmt und kontrolliert werden. Diese Schichten sind unvorstellbar dünn: Das Ellipsometer übermittelt mit Hilfe aufwändiger Software Messergebnisse auf den Computerbildschirm, die sich im Bereich millionster Teile eines Millimeters bewegen. Ein rotierendes optisches Element misst dafür die Polarisationsänderung von reflektiertem Licht.

SENTECH hat sich seit der Firmengründung im Jahre 1990 auf solche und weitere Erzeugnisse des wissenschaftlichen Gerätebaus konzentriert. "Mit Senduro ist uns jetzt die Entwicklung eines automatisch arbeitenden Kompaktgerätes gelungen, bei dem gegenüber bisheriger und vergleichbarer Technik beispielsweise der bislang erforderliche hohe Justieraufwand entfällt", sagt Geschäftsführer Dr. Albrecht Krüger. Die Arbeitsgeschwindigkeit jedes Messvorgangs werde dadurch um den Faktor zehn beschleunigt, der Anwender spare deutlich Arbeitszeit ein.

Ein besonderer Vorteil von SENDURO^® besteht laut Krüger im Preis-Leistungsverhältnis des Gerätes. Große Chip-Hersteller setzen in der Produktion für gewöhnlich Messautomaten ein, die mehrfach so groß und mindestens zehnmal so teuer sind. Mit dem neuen System, das sich auf wichtige Messaufgaben beschränkt, etwa 100.000 Euro kostet und auf einem Arbeitstisch Platz findet, wendet sich SENTECH vor allem an Forschungslabore, kleinere Unternehmen der Mikroelektronik und der oberflächenveredelnden Industrie, die den Mess- und Kostenaufwand minimieren wollen.

Zudem bietet die mitgelieferte Software den Anwendern die Möglichkeit, ihre bereits vorhandene Rechentechnik zu nutzen. Damit folge die Neuentwicklung dem aktuellen Trend im Gerätebau, bei der Realisierung komplexer Messaufgaben auf die Anschaffung immer neuer Industriecomputer gegebenenfalls zu verzichten, erläutert der Geschäftsführer.

Das Berliner Unternehmen, personell hervorgegangen aus dem früheren Institut für wissenschaftlichen Gerätebau der Akademie der Wissenschaften der DDR, steht heute im Wettbewerb hauptsächlich mit Firmen in Frankreich, Japan und den USA. In den zurückliegenden Jahren hat es mehrere Hundert solcher Messsysteme des Vorgängertyps für Abnehmer vor allem in Deutschland und Übersee produziert. Am Kompaktsystem SENDURO^® arbeitete die SENTECH-Entwicklungsabteilung seit 2001. Die ersten Geräte sind in den zurückliegenden Wochen ausgeliefert worden. In Westeuropa finden derzeit weitere Präsentationen statt.

Laut Krüger liegt der weltweite jährliche Bedarf an solcher Messtechnik bei etwa 100 Systemen. "Wir wollen ab 2004 rund 20 Stück pro Jahr herstellen und verkaufen", plant der Firmenchef.

Der zur Hälfte im Ausland - vor allem in Japan und den USA - realisierte Umsatz seines Unternehmens (2002: über fünf Millionen Euro) ist seit der Gründung jährlich im Schnitt um fünf bis zehn Prozent gewachsen. Neben Dünnschicht-Messgeräten hat sich der mittelständische Betrieb auf Konstruktion und Fertigung plasmagestützter Beschichtungs- und Ätzanlagen für die Halbleiterforschung und -entwicklung spezialisiert.

Kontakt

Dr. Albrecht Krüger

SENTECH Instruments GmbH

Carl-Scheele-Straße 16

12489 Berlin

Telefon: (030) 63 92 55 20

Telefax: (030) 63 92 55 22

E-Mail: albrecht.krueger(at)sentech.de

Nachrichtenbüro Thomas Wolter

i. A. Bereich Kommunikation

WISTA-MANAGEMENT GMBH

Rudower Chaussee 17