Page 6 - Adlershof Special 30: Mikrosystemtechnik

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tionen in den Schaltkreisen: „Bei
den geringen Abmessungen kann
schon ein Staubkorn zu Leiter-
zugunterbrechungen führen und
damit den Ausfall des gesamten
Systems verursachen.“
In den Reinräumen des IZM entsteht
derzeit eine Kamera für den Einsatz
in der Medizin, die nur einen Milli-
meter groß ist. Das Besondere: Die
gesamte Kamera wird im Reinraum
hergestellt. Der Fraunhofer IZM-
Chef beobachtet diese Entwicklung
in der gesamten Mikrosystemtech-
nik: „Es werden zunehmend nicht
mehr nur einzelne Komponenten,
sondern ganze multifunktionale
Systeme in Reinräumen gefertigt“,
so Lang.
Diese Möglichkeit bietet in Adlers-
hof das Zentrum für Mikrosysteme
und Materialien (ZMM). Es verfügt
über zwölf der modernsten Reinräu-
me, die derzeit in Berlin-Branden-
burg angemietet werden können.
Hier könnten Sensoren hergestellt
werden, auch eine Fertigung von
Bauteilen für die Optik- und Laser-
technologie ist denkbar.
amit elektronische Schaltkreise Die Reinräume der ISO-Klasse 8
Dund Systeme zuverlässig funk- liegen nebeneinander in einer Halle
tionieren, ist bei ihrer Fertigung und variieren in der Größe zwischen
größte Sauberkeit Pflicht. Sie wer- 32 und 65 Quadratmeter. Ein umlau-
den in speziellen Reinräumen her- fender Flur führt zu den einzelnen
gestellt, die nur durch eine Schleu- Modulen. Umkleideräume und die
se zu betreten sind. Die Luft im Schleuse sind an einem zentralen
Raum ist gefiltert, die Mitarbeiter Eingang platziert, durch die sämt-
tragen Ganzkörperschutzkleidung. liche Mitarbeiter den Reinraumbe-
„Wir bewegen uns mit der Ferti- reich betreten. „Bestimmte Bereiche
gung von elektronischen Bautei- sind über eine zweite Schleuse ge-
len und Systemen inzwischen im trennt“, erklärt der Leiter des ZMM,
Mikro- und Nanometerbereich“, Jörg Israel. „Sie könnten mit zusätz-
erläutert Klaus-Dieter Lang, Leiter lichen Filtern auf ISO-Klasse 6 auf-
des Fraunhofer-Instituts für Zu- gerüstet werden.“
verlässigkeit und Mikrointegration
IZM. „Da kann jeder Staubparti- Zwischen den einzelnen Modulen,
// Sauberkeit ist Pficht: Jeder Staubpartikel hat Ein- kel einen enormen Einfluss auf die in sogenannten „Grauräumen“, wie
fuss auf Funktionalität und Fertigungsausbeute.
Funktionalität und die Fertigungs- die nicht dem Reinheitsstandard
Greatest care: Cleanliness. Dust particles have a huge ausbeute nehmen.“ Fremdpartikel unterliegenden Bereiche bezeich- duction of electronic component-
effect on functionality and production yield. //
können Strukturfehler verursachen – net werden, könnten zusätzliche
oder auch elektrische Fehlfunk- Maschinen installiert und aus dem
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// Verfügt über einige der modernsten Reinräume in
Berlin und Brandenburg: Jörg Israel, Leiter ZMM
In charge of some of the most state-of-the-art
clean rooms in the Berlin-Brandenburg area:
CMM-Director Jörg Israel //
In Adlershof, these facilities are
provided at the Centre for Mate-
rials and Microsystems (CMM),
where twelve of the most modern
clean rooms in Berlin-Brandenburg
can be leased. These could be used
to manufacture sensors, and also
optical and laser components are
conceivable.
The clean rooms of ISO Class 8 ad-
Reinraum heraus bedient werden. explained Klaus-Dieter Lang, Di- join each other in a hall and range
„Hier gibt es drei Meter zusätzlichen rector of the Fraunhofer Institute from 32 to 65 square metres. They
Platz für Geräte, die man nicht im for Reliability and Microintegration are surrounded by a corridor that
Reinraum selbst haben will. Etwa, IZM. “Here, a dust particle can have leads to each of the modules. Chang-
weil sie nicht den Erfordernissen des a huge effect on functionality and ing rooms and the airlock are lo-
Reinraums entsprechen“, so Israel. production yield.” Foreign particles cated at a central entrance that all
Adlershof ist gut aufgestellt für die can cause structural defects – and employees must pass before they
zunehmende Nutzung von Reinräu- even electrical malfunctions in cir- can enter the clean rooms. “Some
men. Die Investitions- wie auch die cuitry. “On this minute scale, even a areas are isolated behind a second
Betriebskosten vieler Produktions- grain of dust can cause track breaks airlock,” explained CMM Direc-
prozesse würde dies erheblich sen- and hence total system failure,” he tor Jörg Israel. “With additional fil-
ken. // mh explained. ters, they can be upgraded to ISO
Class 6.”
// The clean rooms at the IZM are
currently working on a camera for Between each of the modules, in so
medical applications that is only called “grey rooms” that do not fall
f electronic circuitry and systems one millimetre in size. What is so in the clean room standard, there is
Iare to operate reliably, greatest care special is that the entire camera is an additional space of three metres
must be taken in the production pro- manufactured in the clean room. for equipment, that is not suitable
cess. They are manufactured in spe- The Director of the Fraunhofer for clean room use. It can be oper-
cial clean rooms that can be accessed IZM is observing this trend in the ated by the employees while they
only through an airlock. The air in whole field of microsystems en- are still in the clean room. Adlershof
the room is filtered. The employ- gineering: “There is a growing scores well, when it comes to clean
ees wear full body suits. “Our pro- tendency towards manufactur- rooms facilities. This would reduce
ing whole multifunctional systems considerably the investment and
ry and systems is now moving in in clean rooms, and not just single operating costs of many production
the micro- and nanometre range,” components,” concludes Lang. processes.
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